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J-GLOBAL ID：200902230196477702   整理番号：09A1282783

表面処理用大気圧大型リモートプラズマ源

Atmospheric Large Sized Remote Plasma Source for Surface Treatment

著者 (6件)： 佐々木良太 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  熊谷航 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  宮原秀一 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  嶋田隆一 (京工業大学統合研究院ソリューション研究機構) ,  堀田栄喜 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  沖野晃俊 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 129  号： 12  ページ： 903-908 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧下で広範囲の表面処理をするためのプラズマ源として,リモートプラズマが研究されている。リモートプラズマは,電極間で生成したプラズマをプラズマガス流で外部へ吹き出す方式であり,プラズマの生成領域とプラズマ処理を行う領域が分離されているため,処理対象物への放電による損傷を低減することができる。また,処理対象物の形状や電気伝導性を選ばない処理が可能である。しかし,その大きさは数10mm程度であり,広範囲の処理への適用は困難であった。そこで本研究では,長さ100cmの大気圧リモートプラズマ源の開発を行った。パルスバリア放電,高周波放電それぞれにおいて,100cmプラズマを安定に生成する条件について調査した結果,パルスバリア放電では,印加電圧を約3kV以上にした際に100cmの全長にわたって安定なバリア放電の生成が確認できた。高周波放電では,プラズマガスがヘリウムの場合とアルゴンの場合において調査した結果,ヘリウム使用時では電極間距離10mmで入力電力800W,アルゴン使用時では電極間距離10mmで入力電力600Wまで安定に生成されることが確認された。開発したリモートプラズマ源を用いて,アクリル,ガラス表面にプラズマを照射し,親水化効果を調査し,表面を親水化できることを確認した。

シソーラス用語： *プラズマ源 ,  *表面処理 ,  大気プラズマ ,  親水性 ,  *プラズマ加工 ,  パルス放電 ,  高周波放電 ,  ヘリウム ,  アルゴン
準シソーラス用語： *リモートプラズマ源

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (10件)：

• (1) W. Kumagai, H. Miyahara, E. Hotta, and A. Okino : “Atmospheric line remote plasma source for surface treatment”, The Sixth Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, Vol. 310, p. 4007 (2007)
• (2) I. P. Vinogradov and A. Lunk : “Dependence of surface tension and deposition rate of fluorocarbon polymer films on plasma parameters in a dielectric barrier discharge (DBD)”, Surface & Coatings Technology, Vol. 200, pp. 695-699 (2005)
• (3) Z. Fang, X. Qiu, Y. Qiu, and E. Kuffel : “Dielectric Barrier Discharge in Atmospheric Air for Glass-Surface Treatment to Enhance Hydrophobicity”, IEEE Trans. Actions Plasma Sci., Vol. 34, No. 4, pp. 1216-1222 (2006)
• (4) P. Rehn and W. Viöl : “Dielectric barrier discharge treatments at atmospheric pressure for wood surface modification”, Holz als Roh- und Werkstoff, Vol. 61, pp. 145-150 (2003)
• (5) 石井淑夫・小石眞澄・角田光男 編:ぬれ技術ハンドブック,テクノシステム (2001)

タイトルに関連する用語 (4件)： 表面処理 ,  大気圧 ,  大型 ,  プラズマ源