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J-GLOBAL ID：200902231191038383   整理番号：05A0849943

同軸ノズル型電極を用いた放電プラズマからのEUV発光特性

著者 (8件)： 渡辺正人 (東京工大 大学院) ,  SONG I. H. (東京工大 大学院) ,  小林靖典 (東京工大 大学院) ,  坂本敏郎 (東京工大 大学院) ,  MOHANTY S. R. (東京工大 大学院) ,  沖野晃俊 (東京工大 大学院) ,  堀岡一彦 (東京工大 大学院) ,  堀田栄喜 (東京工大 大学院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 66th  号： 2  ページ： 582  発行年： 2005年09月07日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *真空紫外線 ,...
準シソーラス用語： EUVリソグラフィー

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分類 (2件)： 光源  (BD07020D) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 同軸 ,  放電プラズマ ,  EUV ,  発光特性