文献

J-GLOBAL ID：200902263330017034   整理番号：03A0310682

SPring-8高輝度・高強度放射光を用いた弗化物・酸化物のエッチング

著者 (9件)： 藤田哲士 (大阪大) ,  多田泰三 (大阪大) ,  金島岳 (大阪大) ,  寒川雅之 (大阪大) ,  神田浩文 (大阪大) ,  奥山雅則 (大阪大) ,  大橋治彦 (JASRI) ,  為則雄祐 (JASRI) ,  石黒英治 (琉球大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 50th  号： 2  ページ： 784  発行年： 2003年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 軟X線 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0310682&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0054A") }}

分類 (2件)： X線との相互作用  (BK16030H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： SPring-8 ,  高輝度 ,  高強度 ,  放射光 ,  弗化物 ,  酸化物 ,  エッチング