文献
J-GLOBAL ID：200902270725462394 整理番号：06A0926141
LCD製造用多層レジスト技術
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著者 (1件)：
堀邊英夫
堀邊英夫 について
名寄せID(JGPN) 200901100494860646 ですべてを検索
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(
高知工高専
)
高知工高専 について
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資料名：
科学と工業 (Science and Industry)
科学と工業 について
JST資料番号 F0106A ですべてを検索
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巻：
80
号：
11
ページ：
553-560
発行年：
2006年11月20日
JST資料番号：
F0106A
ISSN：
0368-5918
CODEN：
KKGOAG
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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液晶ディスプレー(LCD)の製造において,基板に段差を同時に...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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表示機器
(NC06030Q)
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引用文献 (12件)：
川野健二, 浅野昌史, 岩松孝行, 田中 聡, 伊藤信一, 大西廉伸, 電子情報通信学会大会講演論文, C2, p. 151(1995).
平岡俊郎, 堀田康之, 真竹 茂, 東芝レビュー, 57(4), 31(2002).
長谷川昇雄, 第24回VLSI Forum予稿集, p. 37(1993).
高松慎也, 市川智和, 堀邊英夫, 応用物理学会中国四国支部学術講演会, Fp2-2(2004).
堀邊英夫, 高松慎也, 市川智和, 特開2006-030971.
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