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J-GLOBAL ID：200902297874047516   整理番号：08A0582580

大気圧大型リモートプラズマ源の開発と親水化処理実験

Development of atmospheric large sized remote plasma source and experiment of hydrophilization treatment

著者 (5件)： 佐々木良太 (東京工大) ,  熊谷航 (東京工大) ,  宮原秀一 (東京工大) ,  堀田栄喜 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-08  号： 16-25  ページ： 53-57  発行年： 2008年05月23日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 長さ1mの大気圧リモートプラズマ源を開発した。また表面処理への応用としてヘリウムガス及びアルゴンガスを用いてPMMA,ガラス,アルミニウム及び銅で表面処理実験をした。試料表面の表面張力の変化をぬれ張力試験溶液を用いて評価した。PMMAとガラスの表面にヘリウムプラズマを照射したとき30秒でPMMA,ガラスは共に70dyn/cmまで親水化することができた。アルミニウムと銅はやく1秒の照射で73dyn/cmまで親水化することができた。親水性効果の持続性も確認した。

シソーラス用語： プラズマ源 ,  表面処理 ,  *プラズマ曝露 ,  *親水性 ,  ヘリウム ,  アルゴン ,  ポリメタクリル酸メチル ,  ガラス ,  アルミニウム ,  銅 ,  界面張力 ,  プラズマ
準シソーラス用語： リモートプラズマ源 ,  大気圧プラズマ

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (12件)：

• 目黒太一, 官原秀一, 中島尚紀, 堀田栄喜, 沖野晃俊:「微少量試料分析用ドロプレット試料導入ヘリウム誘導結合プラズマの基本特性」電気学会プラズマ研究会, pp. 41-46, PST-07-69(2007).
• Y. Nagata, H. Miyahara, E. Hotta and A. Okino: “Analytical Performances of High Power Pulse Multi-gas Microplasma Source”, 2008 Winter Conference on Plasma Spectrochemistry, Th06(2008).
• H. Miyahara, T. Kageyasu, W Kumagai, K. Takimoto, E. Hotta, R. Shimada and A. Okino: “Multi-gas high purity plasma source for reduce to atmospheric plasma processing”, The Sixth Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, p. 312, P4009(2007).
• 後藤優, 佐々木良太, 官原秀一, 堀田栄喜, 沖野晃俊:「大気圧マルチガスプラズマ源を用いた手術用麻酔ガスの分解処理」, 電気学会プラズマ研究会, pp. 65-69, PST-07-91(2007).
• W. Kumagai, H. Miyahara, E. Hotta, A. Okino: “Atmospheric line remote plasma source for surface treatment”, The Sixth Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, p. 310, P4007(2007).

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧 ,  大型 ,  リモートプラズマ ,  開発 ,  親水化処理 ,  実験