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J-GLOBAL ID：201002274223397110   整理番号：10A0122347

大気圧マルチガスプラズマ源の開発と産業応用

著者 (8件)： 沖野晃俊 (東京工大 大学院) ,  沖野晃俊 (プラズマコンセプト東京) ,  佐々木良太 (東京工大 大学院) ,  永田洋一 (東京工大 大学院) ,  重田香織 (東京工大 大学院) ,  岩井貴弘 (東京工大 大学院) ,  宮原秀一 (東京工大 大学院) ,  宮原秀一 (プラズマコンセプト東京)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 86  号： 1  ページ： 40-42  発行年： 2010年01月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,物質への連続照射が可能であるため,低コストな高速処理が可能である。このため,ここ数年,塗装性や接着性向上,表面クリーニングなどに使用され始めている。従来の大気圧プラズマ源では使用できるガスに制限があったが,筆者らは様々なガスをプラズマ化できる,マルチガスプラズマ源を開発した。本稿では,3種類の大気圧マルチガスプラズマ源およびその応用例について記述する。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ源 ,  プラズマジェット ,  *プラズマ処理 ,  プラズマ生成 ,  発光分析 ,  熱プラズマ ,  マイクロプラズマ ,  プラズマ
準シソーラス用語： *大気圧プラズマ

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (9件)：

• MIYAHARA, H. 31st The Federation of Analytical Chemistry and Spectroscopy Societies, 2004. 2004, 197
• 目黒太一. 電気学会プラズマ研究会. 2007, PST-07-069
• MIYAHARA, H. The Sixth Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, 2007. 2007, 312
• RAVISHANKARA, A. R. Science. 2009, 326, 123-125
• LOGAN, M. Anesthesia and the ozone layer. 1989, 645-647

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気圧 ,  開発 ,  産業応用