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J-GLOBAL ID:201102218829948228   整理番号:11A1644040

Wを含むアニールした非晶質Al2O3のナノボイド形成の増加

Enhancement of nanovoid formation in annealed amorphous Al2O3 including W
著者 (9件):
資料名:
巻: 110  号:ページ: 064324  発行年: 2011年09月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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アニールした非晶質Al2O3のナノボイド形成に及ぼすWの影響を,透過型電子顕微鏡および分子動力学シミュレーションにより研究した。電子ビーム蒸着Al2O3(Wなし)と抵抗加熱蒸着Al2O3(10at.%のWを含む)におけるボイド形成挙動の比較から,Wがナノボイドの形成と成長を促進することが明らかにされた。両方の型の非晶質Al2O3の対分布関数(PDF)の解析から,非晶質Al2O3へのW導入により,非晶質構造が著しく変化するのが示された。さらに,高角環状暗視野走査透過電子顕微鏡(HAADF-STEM)により,サブnmサイズのWクラスターが,抵抗加熱により調製した蒸着直後のAl2O3中に存在し,アニーリングにより非晶質マトリックス中に溶解することを見いだした。PDF解析とAADF-STEM観察の組み合わせから,ボイド形成の増大は,W添加により誘起された短距離原子の構造に起因するという証拠を提供した。(翻訳著者抄録)
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