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J-GLOBAL ID：201102262378230360   整理番号：11A1490523

微細溝への炭素薄膜の製膜形状制御における水素フラックスの効果

著者 (15件)： 浦川達也 (九大) ,  鳥越隆平 (九大) ,  松崎秀文 (九大) ,  山下大輔 (九大) ,  内田儀一郎 (九大) ,  古閑一憲 (九大) ,  白谷正治 (九大) ,  節原裕一 (阪大 接合研) ,  関根誠 (名大 院) ,  堀勝 (名大 院) ,  古閑一憲 (JST-CREST) ,  白谷正治 (JST-CREST) ,  節原裕一 (JST-CREST) ,  関根誠 (JST-CREST) ,  堀勝 (JST-CREST)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 72nd  ページ： ROMBUNNO.1A-ZC-29  発行年： 2011年08月16日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： トレンチカット【加工】 ,  薄膜 ,  *プラズマCVD ,  フラックス【流束】 ,  水素 ,  膜厚 ,  形状制御 ,  アルゴン ,  アルキルベンゼン ,  *微細溝 ,  サーボ制御

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： トルエン

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細溝 ,  炭素薄膜 ,  製膜 ,  形状制御 ,  水素 ,  フラックス