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J-GLOBAL ID：201102262756976294   整理番号：11A0797431

集積化CMOS-MEMS設計のためのSPICEによるマルチフィジックス解析手法

著者 (10件)： 小西敏文 (NTTアドバンステクノロジ) ,  丸山智史 (東大) ,  松島隆明 (NTTアドバンステクノロジ) ,  三田信 (宇宙航空研究開発機構) ,  町田克之 (NTTアドバンステクノロジ) ,  町田克之 (東京工大) ,  石原昇 (東京工大) ,  益一哉 (東京工大) ,  藤田博之 (東大) ,  年吉洋 (東大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 58th  ページ： ROMBUNNO.27P-KC-1  発行年： 2011年03月09日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *MEMS ,  *設計 ,  *シミュレーション ,  SPICEプログラム ,  等価回路 ,  アクチュエータ ,  *CMOS ,  静電アクチュエータ
準シソーラス用語： *集積化

分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (7件)： 集積化 ,  CMOS ,  MEMS ,  設計 ,  SPICE ,  マルチフィジックス ,  解析手法