特許

J-GLOBAL ID：201103077179167090

微小表面温度分布計測法およびそのための装置

発明者： 中別府 修 ,  井上 剛良
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構
代理人 (1件)： 宮本 晴視
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177143
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004455
特許番号：特許第3687030号
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 カンチレバーの先端部側とカンチレバーの片持ち側の2点の温度差を検知して熱流束情報として検出する手段(熱流束情報検出手段)を配設したカンチレバーを試料表面に接触させ、該カンチレバーの温度を常に試料表面の温度に一致させるように前記熱流束情報に基づいたフィードバック信号を前記カンチレバーの温度制御手段に送りながら、前記カンチレバーの片持ち側の位置に設けられた温度計測手段によりカンチレバーの温度を検出することにより試料表面の温度情報を絶対温度として得ることを特徴とする走査型温度分布計測方法。

IPC (5件)：

G01K 1/14 ,  G01B 21/30 ,  G01K 7/02 ,  G01K 7/16 ,  G01N 13/16

FI (5件)：

G01K 1/14 L ,  G01B 21/30 Z ,  G01K 7/02 A ,  G01K 7/16 Z ,  G01N 13/16 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 微小熱電対付きカンチレバー及び走査型温度分布 計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-198737   出願人：株式会社ニコン
• 原子間力顕微鏡用カンチレバー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-286318   出願人：三菱電機株式会社