文献

J-GLOBAL ID：201202221660435895   整理番号：12A1371808

プラズマの新展開-大気圧・液中プラズマ-プラズマの基礎と大気圧プラズマの新展開

著者 (2件)： 沖野晃俊 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  宮原秀一 (東京工大 大学院総合理工学研究科)
資料名： 化学と教育  (Chemistry & Education)
巻： 60  号： 9  ページ： 370-375  発行年： 2012年09月20日 
JST資料番号： G0942A  ISSN： 0386-2151  CODEN： KAKYEY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマの基礎を紹介した後に,通常減圧で発生するプラズマと異なり,簡便な装置で発生できる大気圧でのプラズマを紹介した。表面に付着した汚れ除去や物質表面を親水化できる。新しい大気圧プラズマとして,各種ガスや種々の混合気体を使用できるマルチガスプラズマ,さらに内部電極に数10kHz~40MHzの高周波あるいは数kVのパルス電圧を印加してプラズマを発生させるが,本体が接地されているのでプラズマ損傷が起きない。種々の材料に適用でき,人体に直接照射できるマルチガスダメージフリープラズマジェット,フラットパネルの洗浄に利用される平面処理用リニア型タメージフリープラズマ,医療分野への応用が期待されるガス温度を制御する温度制御プラズマを紹介した。最後に大気圧プラズマを用いた表面処理として,ポリイミドの親水化,水素混合ガスの使用で水素ラジカルを発生させて,銅酸化膜の還元処理の例を紹介した。

シソーラス用語： *大気プラズマ ,  *プラズマ処理 ,  浄化 ,  *プラズマ ,  *混合気体 ,  照射損傷 ,  *表面処理 ,  化学的加工 ,  還元 ,  プラズマ損傷 ,  親水化
準シソーラス用語： 大気圧プラズマ ,  プラズマプロセシング ,  マルチガスプラズマ ,  ダメージフリープラズマ ,  リニア型プラズマ ,  温度制御プラズマ

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (13件)：

• 菅井秀郎. プラズマエレクトロニクス. 2000
• 飯島徹穂. 初めてのプラズマ技術. 1999
• プラズマ・核融合学会. プラズマエネルギーのすべて. 2007
• 行村建. 放電プラズマ工学. 2008
• 河辺隆也. プラズマの科学. 1994

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  展開 ,  大気圧 ,  液中プラズマ ,  基礎 ,  大気圧プラズマ