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J-GLOBAL ID：201202284162892725   整理番号：12A0587726

プラズマ異方性CVDカーボン膜の硬度のイオンエネルギー依存性

著者 (16件)： 浦川達也 (九大) ,  鳥越隆平 (九大) ,  SEO H. (九大) ,  内田儀一郎 (九大) ,  板垣奈穂 (九大) ,  板垣奈穂 (JST-PRESTO) ,  古閑一憲 (九大) ,  古閑一憲 (JST-CREST) ,  白谷正治 (九大) ,  白谷正治 (JST-CREST) ,  節原裕一 (阪大 接合研) ,  節原裕一 (JST-CREST) ,  関根誠 (名大 院) ,  関根誠 (JST-CREST) ,  堀勝 (名大 院) ,  堀勝 (JST-CREST)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 59th  ページ： ROMBUNNO.18A-B8-10  発行年： 2012年02月29日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *硬度 ,  ナノインデンテーション ,  *炭素 ,  イオンエネルギー ,  炭素薄膜
準シソーラス用語： エッチング速度 ,  カーボン薄膜

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ ,  異方性 ,  CVD ,  カーボン膜 ,  硬度 ,  イオン ,  エネルギー依存性