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J-GLOBAL ID：201202285935292346   整理番号：12A0664471

CMOSチップ上周期配列ダミーメタルフィルの等価異方性媒質定数の抽出

Extraction of Equivalent Anisotropic Material Property of Periodically Arranged Dummy Metal Fills in a CMOS chip

著者 (4件)： 平野拓一 (東京工大) ,  岡田健一 (東京工大) ,  広川二郎 (東京工大) ,  安藤真 (東京工大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 111  号： 487(AP2011 199-208)  ページ： 55-60  発行年： 2012年03月08日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 単位セルの固有値解析を用いたCMOSチップ上周期配列ダミーメタルフィルの等価異方性媒質定数の抽出を行った。60GHzにおいて自空間波長5mmの1/1000の5μm角のダミーメタルフィルを25%の面積密度で配置した場合について検討した。ダミーメタルフィルは人工誘電体として振る舞い,等価比誘電率は間の絶縁体SiO₂よりも大きくなることがわかった。また,ダミーメタルフィルの損失,すなわちアルミニウムの導電率を考慮したので,等価誘電正接も得られた。有限長のダミーメタルフィル入り平行平板導波路の実モデルおよび等価媒質モデルの解析値の比較から,等価媒質定数の有効性が確認できた。(著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロ波集積回路 ,  周期構造 ,  解析 ,  *充填 ,  *金属 ,  誘電体 ,  電磁場解析 ,  異方性媒質 ,  半導体 ,  定数 ,  特徴抽出 ,  CMOS ,  *ミリ波集積回路 ,  人工誘電体
準シソーラス用語： 固有値解析 ,  電気的定数 ,  特性抽出

分類 (2件)： 集積回路一般  (NC03161C) ,  電磁気学一般  (BD01020N)

引用文献 (7件)：

• DOAN, C. H. Design considerations for 60 GHz CMOS radios. IEEE Communications Magazine. 2004, 42, 12, 132-140
• RAZAVI, B. Design of millimeter-wave CMOS radios : a tutorial. IEEE Trans. Circuits Systems. 2009, 56, 1, 4-16
• 安藤真. 日本発のミリ波実用化に向けて日本発のミリ波実用化に向けて. 電子情報通信学会ソサイエティ大講演論文集, 2008年9月. 2008
• TSUCHIYA, A. Patterned Floating Dummy Fill for On-Chip Spiral Inductor Considering the Effect of Dummy Fill. IEEE Trans. MTT. 2008, 56, 12, 3217-3222
• ONO, Y. Eigenmode Analysis of Propagation Constant for a Microstrip Line with Dummy Fills on a Si CMOS Substrate. IEICE Trans. Electron., C. 2011, E94, 6, 1008-1015

タイトルに関連する用語 (5件)： CMOSチップ ,  周期配列 ,  等価 ,  異方性媒質 ,  定数