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J-GLOBAL ID：201302220303548739   整理番号：13A0033251

プラズマCVDカーボン膜の硬度の基板バイアス依存性

著者 (15件)： 鳥越隆平 (九大 工) ,  浦川達也 (九大) ,  松崎秀文 (九大) ,  山下大輔 (九大) ,  内田儀一郎 (九大) ,  古閑一憲 (九大) ,  古閑一憲 (JST-CREST) ,  白谷正治 (九大) ,  白谷正治 (JST-CREST) ,  節原裕一 (阪大 接合研) ,  節原裕一 (JST-CREST) ,  関根誠 (名大 院) ,  関根誠 (JST-CREST) ,  堀勝 (名大 院) ,  堀勝 (JST-CREST)
資料名： 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集
巻： 37  ページ： 89  発行年： 2011年11月26日 
JST資料番号： L1487A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *炭素 ,  薄膜成長 ,  *微小硬さ ,  バイアス ,  密度 ,  エッチング
準シソーラス用語： 基板バイアス

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマCVD ,  カーボン膜 ,  硬度 ,  バイアス依存性