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J-GLOBAL ID：201302271689236217   整理番号：13A1136034

歪みSiウェーハの歪み及び格子面傾斜揺らぎの放射光X線トポグラフィによる2次元分布測定

著者 (6件)： 志村考功 (大阪大 大学院) ,  井上智之 (大阪大 大学院) ,  下川大輔 (大阪大 大学院) ,  細井卓治 (大阪大 大学院) ,  渡部平司 (大阪大 大学院) ,  小椋厚志 (明治大 理工)
資料名： KEK Proceedings  (KEK Proceedings)
号： 2011-4  ページ： 17-19  発行年： 2011年10月 
JST資料番号： L1349A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  X線回折 ,  *X線トポグラフィー ,  *格子歪 ,  ロッキングカーブ ,  Bragg反射 ,  SOIウェハ ,  格子間隔 ,  放射光X線回折 ,  *シリコンウエハ
準シソーラス用語： *Siウエハ ,  歪み層

分類 (1件)： 非金属元素とその化合物の結晶構造  (BK07010N)

タイトルに関連する用語 (7件)： 歪み ,  Siウェーハ ,  揺らぎ ,  放射光 ,  X線トポグラフィ ,  2次元 ,  分布