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J-GLOBAL ID：201302292101931752   整理番号：13A0158810

圧電MEMS用Pb(Zr,Ti)O₃膜の信頼性評価

著者 (12件)： 和田亜由美 (東京工大) ,  江原祥隆 (東京工大) ,  安井伸太郎 (東京工大) ,  中島光雅 (東京工大) ,  及川貴弘 (東京工大) ,  小林健 (産業技術総合研) ,  西田謙 (防衛大) ,  西出正道 (防衛大) ,  松岡将史 (防衛大) ,  山本孝 (防衛大) ,  森岡仁 (ブルカー・エイエックスエス) ,  舟窪浩 (東京工大)
資料名： セラミックス基礎科学討論会講演要旨集  (Preprints of the Symposium on Basic Science of Ceramics)
巻： 51st  ページ： 115  発行年： 2013年01月09日 
JST資料番号： L1357A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *薄膜 ,  溶液成長 ,  信頼性 ,  *圧電気 ,  MEMS

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 圧電 ,  MEMS ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  信頼性評価