特許
J-GLOBAL ID:201303031180332783
イオンビーム引出加速方法及び装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高田 幸彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-198996
公開番号(公開出願番号):特開2009-037764
特許番号:特許第4771230号
出願日: 2007年07月31日
公開日(公表日): 2009年02月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 イオン源の内部で発生させたプラズマからイオンビームを引き出して線形加速器に入射し、線形加速器内に入射されたイオンビームを該線形加速器のビーム加速電極が生成する加速電場によって加速するイオンビーム引出加速方法において、
接地電位の真空容器内に絶縁状態に設置した容器状の高電圧ターミナルから筒状電極を外側に伸ばし、この筒状電極の先端を前記ビーム加速電極の開口端の位置に一致、または開口内に進入するように設置することにより、前記高電圧ターミナル内に設置したプラズマ発生ターゲットにレーザー光を照射することによって発生したプラズマを前記筒状電極によってプラズマ状態を保ったまま前記ビーム加速電極の開口端または開口内まで導き、前記ビーム加速電極が生成するビーム加速・集束空間内に直接イオンビームを引き出すことを特徴とするイオンビーム引出加速方法。
IPC (4件):
H05H 9/00 ( 200 6.01)
, H05H 1/24 ( 200 6.01)
, G21K 1/00 ( 200 6.01)
, H01J 37/317 ( 200 6.01)
FI (4件):
H05H 9/00 A
, H05H 1/24
, G21K 1/00 A
, H01J 37/317 Z
引用特許:
審査官引用 (3件)
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イオン加速装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-135357
出願人:理化学研究所
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FRIT-レーザーイオン源
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-317085
出願人:日本電子株式会社
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高周波四重極加速装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-119465
出願人:株式会社神戸製鋼所
引用文献:
審査官引用 (1件)
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直接プラズマ入射法による大強度イオンビーム加速と応用可能性
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