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J-GLOBAL ID：201402234062269980   整理番号：14A1165861

シリコンプロセスを用いた350GHz帯積層薄板接合導波路アンテナの試作

著者 (8件)： 広川二郎 (東京工大) ,  戸村崇 (東京工大) ,  南方佑介 (大阪大) ,  永妻忠夫 (大阪大) ,  瀬戸弘之 (京大 ナノテクノロジーハブ拠点) ,  井上良幸 (京大 ナノテクノロジーハブ拠点) ,  加藤邦男 (早稲田大 ナノ理工学研究機構) ,  齋藤美紀子 (早稲田大 ナノ理工学研究機構)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2014  号： ソサイエティ大会  ページ： ROMBUNNO.B-1-52  発行年： 2014年09月09日 
JST資料番号： G0508B  ISSN： 1349-144X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *アンテナ ,  *アレイアンテナ ,  *積層構造 ,  *薄板 ,  *ウエハ【IC】 ,  エッチング ,  ニッケルめっき ,  金めっき ,  接合 ,  *試作 ,  *アンテナ測定 ,  *伝送特性 ,  周波数特性 ,  構造 ,  *シリコンウエハ ,  無電解ニッケルめっき ,  *導波管アンテナ ,  *行為
準シソーラス用語： *アンテナアレイ ,  ウエハ接合 ,  *サブミリ波アンテナ ,  *導波路アンテナ ,  アンテナ構造

分類 (2件)： アンテナ  (ND06000M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  プロセス ,  薄板 ,  導波路アンテナ ,  試作