特許
J-GLOBAL ID：201503066623358945
プラズマ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
中尾 俊輔
, 伊藤 高英
, 大倉 奈緒子
, 玉利 房枝
, 鈴木 健之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-127711
公開番号（公開出願番号）：特開2011-253754
特許番号：特許第5645157号
出願日： 2010年06月03日
公開日（公表日）： 2011年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 噴出口を介して外部と連通されたプラズマ発生室と、前記プラズマ発生室内にプラズマを発生可能な少なくとも1つのプラズマ源とを備え、前記プラズマ発生室内に発生させたプラズマを前記噴出口から噴出させるプラズマ装置であって、
前記プラズマ源は、放電部を形成する間隙部を以て対向配置された一対の電極を備え、前記放電部には、放電方向と角度を持った気流方向のプラズマガスが供給されるように形成されており、
前記プラズマ発生室内において少なくとも1つの前記プラズマ源と前記噴出口との中間位置にフィルタ部材が配置されていることを特徴とするプラズマ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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