パルスレーザー誘起プラズマの進展に対する対向衝撃波の影響

梅津郁朗; 片山慶太; 蓬莱祐貴; 福岡寛; 木下稔基; 中村亘; 青木珠緒; 吉田岳人

文献

J-GLOBAL ID：201702244722445508 整理番号：17A1368724

パルスレーザー誘起プラズマの進展に対する対向衝撃波の影響

Effects of counter plume on the expansion of the laser induced plasma

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著者 (8件)： , , , , , , ,
資料名：
巻： EFM-17 号： 10-21 ページ： 1-3 発行年： 2017年09月19日
JST資料番号： Z0970A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

対称性からと衝撃波の影響度から想定してもダブルレーザ・アブレーション法で衝撃波の影響度について対向位置での衝突を議論することにはおおきな意義がある。本報告はターゲットを対向位置に平行配置して,対向衝撃波の影響を実験的に検討した。SiとGeのターゲットを9mmの距離に置き,雰囲気ガスとしてHeを用いた。同期させた2つのYAGレーザ照射して分光器を通して,プルームの時間進展をICCDカメラで撮影し解析した。このプラズマ発光過程の観察から,バックグラウンドガス圧力が50Pa以下では完全な相互浸透であり,500Pa以上では停滞し,3000Pa以上の領域に入ると衝撃波による影響が顕著になるとわかった。これらの結果はダブルレーザ・アブレーション法による複合ナノ結晶の形成に有用な指針となると期待される。おもに実験結果を提示した。

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半導体の結晶成長 , プラズマ生成・加熱

引用文献 (9件)：

電気学会レーザーアブレーションとその産業応用調査専門委員会編: ′′レーザーアブレーションとその応用′′, コロナ社 (1999)
Umezu, I., Sugimura, A., Inada, M., Makino, T., Matsumoto, K., & Takata, M. ′′Formation of nanoscale fine-structured silicon by pulsed laser ablation in hydrogen background gas.′′ Phys. Rev. B, 76(4), 045328 (2007)
Umezu, I., Hashiguchi, Y., Fukuoka, H., Sakamoto, N., Aoki, T., & Sugimura, A. ′′Dynamics of colliding laser ablation plumes in background gas′′ Appl. Phys. A, 122(4), 1-4. (2016)
Umezu, I., Sakamoto, N., Fukuoka, H., Yokoyama, Y., Nobuzawa, K., & Sugimura, A. ′′Effects of collision between two plumes on plume expansion dynamics during pulsed laser ablation in background gas′′ Appl. Phys. A, 110(3), 629-632. (2012).
Hirooka, Y., Omoto, N., Oishi, T., & Tanaka, K. A. (2011). ′′Aerosol formation and hydrogen co-deposition by colliding ablation plasma plumes of lithium and lead′′ Fusion Engineering and Design, 1-5. (2011)

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