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J-GLOBAL ID：201802243965934136   整理番号：18A2209771

マテリアル系電子線トモグラフィーの実際と動向

Placticals and Trends of Electron Tomography for Materials Research

著者 (8件)： 波多聰 (九州大学大学院総合理工学研究院) ,  波多聰 (九州大学超顕微解析研究センター) ,  斉藤光 (九州大学大学院総合理工学研究院) ,  村山光宏 (米国バージニア工科大学) ,  村山光宏 (米国太平洋北西国立研究所) ,  村山光宏 (九州大学先導物質化学研究所) ,  佐藤和久 (大阪大学超高圧電子顕微鏡センター) ,  工藤博幸 (筑波大学システム情報系)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 57  号： 12  ページ： 589-594(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・透過電子顕微鏡法(TEM)または走査透過電子顕微鏡法(STEM)による三次元観察技術として電子線トモグラフィー(ET)について解説し,最近の研究動向やトピックを紹介。
・ETはTEM/STEMの一手法として確立してきたが,ET観察に必要な条件として,投影要件,高角度試料傾斜,観察視野のユーセントリック位置調整,三次元画像再構成などを説明。
・最近のトピックとして,原子分解能ET(三次元で原子1つ1つの座標を決める),その場ET(塑性変形のその場ET観察システム),SEMによる三次元イメージングなどを紹介。
・X線による三次元イメージングについて述べ,空間分解能の点では電子顕微鏡が有利であるが,その場観察ではX線が有効と説明。

シソーラス用語： *トモグラフィー ,  電子回折 ,  透過型電子顕微鏡 ,  透過型走査電子顕微鏡 ,  三次元 ,  投影法【図法】 ,  傾斜 ,  *画像再構成 ,  座標 ,  その場観察 ,  空間分解能 ,  X線画像 ,  *電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： 原子分解能 ,  *電子線トモグラフィー

著者キーワード (6件)： three-dimensional (3D) ,  electron tomography (ET) ,  transmission electron microscopy (TEM) ,  scanning transmission electron microscopy (STEM) ,  scanning electron microscopy (SEM) ,  X-ray imaging

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  金属組織観察法  (WB01010R)

引用文献 (69件)：

• (1) 伊野家浩司,金子賢治,堀田善治:まてりあ,45(2006), 598-604.
• (2) 波多 聰,田中將己,東田賢二,宮崎裕也:まてりあ,46(2007), 785.
• (3) 光原昌寿,波多 聰,池田賢一,中島英治,田中將己,東田賢二:まてりあ,48(2009), 610.
• (4) 松尾 孟,池田賢一,波多 聰,中島英治:まてりあ,48(2009), 612.
• (5) 元木創平,金子武司,青山佳敬,西岡秀夫,大藏善博,近藤行人,陣内浩司:まてりあ,48(2009), 622.

タイトルに関連する用語 (3件)： マテ ,  電子線トモグラフィー ,  動向