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J-GLOBAL ID：201802278825261706   整理番号：18A0699663

立体チャネルトランジスタに向けたGaNの選択成長

著者 (11件)： 黒岩宏紀 (東京工大) ,  濱田拓也 (東京工大) ,  高橋言緒 (産業技術総合研) ,  井手利英 (産業技術総合研) ,  清水三聡 (産業技術総合研) ,  中島昭 (産業技術総合研) ,  星井拓也 (東京工大) ,  角嶋邦之 (東京工大) ,  若林整 (東京工大) ,  岩井洋 (東京工大) ,  筒井一生 (東京工大)
資料名： 半導体・集積回路技術シンポジウム(CD-ROM)  (半導体・集積回路技術シンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.P10  発行年： 2017年 
JST資料番号： F0108C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *トランジスタ ,  *窒化ガリウム ,  *素子構造 ,  立体構造 ,  チャネル ,  選択成長 ,  走査電子顕微鏡

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 立体 ,  チャネル ,  トランジスタ ,  GaN ,  選択成長