特許
J-GLOBAL ID:201903013179578210
パッシベーション膜の製造方法、パッシベーション膜、それを用いた太陽電池素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-046592
公開番号(公開出願番号):特開2016-167524
特許番号:特許第6498967号
出願日: 2015年03月10日
公開日(公表日): 2016年09月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム又はそれらの混合物からなるアルキルアルミニウム化合物、及び、電子供与性を有しかつ活性水素原子を含有しない有機溶媒を含有し、前記アルキルアルミニウム化合物の含有量が1質量%以上、10質量%以下であるアルキルアルミニウム化合物含有溶液からなり、かつ実効ライフタイムが150〜2000μsであるパッシベーション膜形成剤。
IPC (2件):
H01L 31/0216 ( 201 4.01)
, H01L 21/316 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 31/04 240
, H01L 21/316 G
引用特許:
審査官引用 (2件)
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半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2012-237735
出願人:富士通セミコンダクター株式会社
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半導体装置の作製方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2012-086058
出願人:株式会社半導体エネルギー研究所
引用文献:
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