微小磁性体を検出する方法及び装置並びに検査装置

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-167029
公開番号（公開出願番号）：特開2017-044571
特許番号：特許第6681062号
出願日： 2015年08月26日
公開日（公表日）： 2017年03月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被検体に交流成分を有する外部磁場を印加して、この外部磁場によって変動する変動磁場を検出することで被検体中に存在する微小磁性体を検出する方法において、被検体に対してレーザ光を走査させながら照射することで被検体中の微小磁性体にレーザ光を照射して、このレーザ光の照射によって微小磁性体の外部磁場に対する応答を変化させることで微小磁性体を検出する方法。

IPC (3件)：