特許
J-GLOBAL ID：200903058818093229
非破壊検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
, 池田 成人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-251601
公開番号（公開出願番号）：特開2004-093214
出願日： 2002年08月29日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】磁場検出手段を用いて試料の欠陥を精度良く検出できる非破壊検査装置を提供する。【解決手段】非破壊検査装置1は、レーザ光によってウェーハ5を走査し、それにより誘起される磁場をSQUID磁束計16によって検出する。SQUID磁束計は、試料の表面側に配置されている。その一方で、試料の裏面側ではオートフォーカスが実行される。オートフォーカシングコントローラ145は、オートフォーカシングアクチュエータ14bを用いて対物レンズ129と試料との距離を調整し、オートフォーカスを行う。コンピュータ18は、取得された磁場分布データに基づいて、試料の欠陥の有無を判定する。フォーカスを保ちながら試料を走査するので、精度良く試料の欠陥を検出できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面および裏面を有する試料を走査し、前記試料に設けられた所定の構造の欠陥を検出する非破壊検査装置であって、
前記試料の裏面に対向させて配置された対物レンズと、
前記試料の裏面側に配置され、前記対物レンズを介して前記試料にレーザ光を照射する照射手段と、
前記試料上における前記レーザ光の照射位置を移動させて前記試料を走査する走査手段と、
前記試料の裏面側に配置され、前記対物レンズと前記試料との距離を調整してオートフォーカスを行うオートフォーカシング手段と、
前記試料の表面側に配置され、前記試料の走査によって発生する磁場を検出し、磁場分布データを取得する磁場検出手段と、
を備え、
前記磁場分布データに基づいて前記欠陥を検出する非破壊検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2G053AA11
, 2G053AA30
, 2G053AB01
, 2G053BB00
, 2G053BB05
, 2G053CA10
, 2G053CA19
, 2G053CA20
, 2G053CB24
, 2G053CB28
, 4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106CA70
, 4M106DH11
, 4M106DH38
, 4M106DH39
, 4M106DJ04
, 4M106DJ07
出願人引用 (3件)
審査官引用 (13件)
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