ナノギャップ電極を有するガスセンサ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-154058
公開番号（公開出願番号）：特開2021-032746
出願日： 2019年08月26日
公開日（公表日）： 2021年03月01日
要約：

【課題】酸素を検知するガスセンサの応答速度を向上させることを目的の一つとする。【解決手段】ガスセンサは、第1電極及び第2電極を含み、第1電極の一端と前記第2電極の一端とがナノギャップを形成するように離隔して配置されたナノギャップ電極と、金属酸化物のナノ粒子と、を含み、金属酸化物のナノ粒子は、前記ナノギャップに配置されている。金属酸化物のナノ粒子をナノギャップ電極の中に配置することで、応答速度の速いガスセンサを得ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1電極及び第2電極を含み、前記第1電極の一端と前記第2電極の一端とがナノギャップを形成するように離隔して配置されたナノギャップ電極と、金属酸化物のナノ粒子と、を含み、前記金属酸化物のナノ粒子は、前記ナノギャップに配置されているガスセンサ。

IPC (4件)：

G01N 27/12 , G01N 27/04 , B82Y 15/00 , B82Y 40/00

FI (5件)：

G01N27/12 C , G01N27/12 B , G01N27/04 F , B82Y15/00 , B82Y40/00

Fターム (31件)：

2G046AA07 , 2G046BA08 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BC03 , 2G046BC05 , 2G046FB01 , 2G046FE03 , 2G046FE09 , 2G046FE14 , 2G046FE16 , 2G046FE24 , 2G046FE25 , 2G046FE26 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE34 , 2G046FE35 , 2G046FE41 , 2G046FE44 , 2G046FE46 , 2G046FE49 , 2G060AA01 , 2G060AB05 , 2G060AE19 , 2G060AF07 , 2G060AG10 , 2G060BB09 , 2G060JA01 , 2G060KA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

抵抗型酸素センサ用酸化物半導体ナノ粒子集合体、及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2018-042464 出願人：太平洋セメント株式会社
薄膜型センシング部材を利用した化学センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-221178 出願人：三星電子株式会社
ガスセンサおよびそれを備えた内燃機関ならびに輸送機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-109031 出願人：ヤマハ発動機株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

NO2 sensing properties of macroporous In2O3-based powders fabricated by utilizing ultrasonic spray p
Effect of micro-gap electrode on sensing properties to dilute chlorine gas of indium oxide thin film

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