特許

J-GLOBAL ID：202103012374789359

成膜装置一体型顕微鏡

発明者： 高橋 康史 ,  鯉沼 秀臣 ,  佐藤 利弘 ,  松木 伸行
出願人/特許権者： 国立大学法人金沢大学 ,  鯉沼 秀臣 ,  バキュームプロダクツ株式会社 ,  学校法人神奈川大学
代理人 (1件)： 大谷 嘉一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-093058
公開番号（公開出願番号）：特開2021-188987
出願日： 2020年05月28日
公開日（公表日）： 2021年12月13日
要約：

【課題】成膜装置と顕微鏡とを融合した成膜装置一体型顕微鏡の提供を目的とする。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡と、成膜装置とを備え、前記走査型プローブ顕微鏡は計測するために内部制御されるチャンバーと、前記チャンバーに配置した、試料を装着するステージ部を有し、前記成膜装置は成膜するための成膜室と、前記成膜室内に配置した成膜するための基材の固定部を有し、前記チャンバーと前記成膜室とは連通部にて連結され、前記連通部を介して、前記チャンバーと前記成膜室との間にて試料の受け渡しをするための搬送手段を有していることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

走査型プローブ顕微鏡と、成膜装置とを備え、 前記走査型プローブ顕微鏡は計測するために内部制御されるチャンバーと、前記チャンバーに配置した、試料を装着するステージ部を有し、 前記成膜装置は成膜するための成膜室と、前記成膜室内に配置した成膜するための基材の固定部を有し、 前記チャンバーと前記成膜室とは連通部にて連結され、 前記連通部を介して、前記チャンバーと前記成膜室との間にて試料の受け渡しをするための搬送手段を有していることを特徴とする成膜装置一体型顕微鏡。

IPC (3件)：

G01Q 30/20 ,  G01Q 30/16 ,  G01Q 60/60

FI (3件)：

G01Q30/20 ,  G01Q30/16 ,  G01Q60/60

引用特許：

審査官引用 (3件)

• BEEM測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-357554   出願人：科学技術振興事業団, 三浦忠男, 田中俊一郎
• 薄膜形成方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-359150   出願人：ソニー株式会社
• 電解質および電極を含むピペット
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2013-523668   出願人：ザユニヴァーシティオブウォーリック