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J-GLOBAL ID：202202282352576348   整理番号：22A1527574

マイクロ / ナノインプリントによる粉体成形加工 -セラミックス・ガラスシート材料への微細パターニング-

Micro- / Nano- Powder Imprinting Processes -Fine Patterning Process for Ceramics or Glass Sheets-

著者 (1件)： 津守不二夫 (九州大学 大学院工学研究院)
資料名： ぷらすとす  (日本塑性加工学会会報誌)
巻： 5  号： 53  ページ： 285-289(J-STAGE)  発行年： 2022年 
JST資料番号： F2133A  ISSN： 2433-4251  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・樹脂を熱軟化させ,型により圧印加工を施すホットエンボス加工であり,鍛造加工の一種である表面加工技術のひとつとして,樹脂に対する極微細加工「ナノインプリントプロセス」を紹介。
・本加工プロセスは,樹脂材料と粉末材料を混錬したコンパウンド材料を用いており,同プロセスで用いる材料やプロセスの概要を紹介すると共に,そのパターンサイズ限界などを紹介。
・拡張型のプロセスとして多層材料へのインプリントや,異なるモールドを用いた多段階のインプリントを紹介し,多層材料を用いた場合,層間界面を有効に利用する重要性について解説。

シソーラス用語： *押付成形 ,  セラミック ,  *粉体 ,  *パターン形成 ,  重合体 ,  *圧印加工 ,  鍛造 ,  *微細加工 ,  多層構造 ,  相境界 ,  表面加工 ,  ガラス ,  分散剤 ,  可塑剤 ,  *ホットエンボス加工 ,  樹脂
準シソーラス用語： コンパウンド ,  *ナノインプリント

分類 (1件)： 圧粉,焼結  (WC02030X)

引用文献 (20件)：

• 1) Chou, S. Y., Krauss, P. R. and Renstrom, P. J.:J. Vac. Soc. Technol. B, 14-6 (1996), 4129-4133.
• 2) Chou, S. Y., Krauss, P. R. and Renstrom, P. J.:Science, 272-5258 (1996), 85-87.
• 3) Xu, Y., Tsumori, F., Kang, H. and Miura, H.:Adv. Sci. Lett., 12-1 (2012), 170-173.
• 4) 津守不二夫:塑性と加工, 56-651 (2015), 265-269.
• 5) Yonekura, K., Tokumaru, K. and Tsumori, F.:Jpn. J. Appl. Phys., 57-6S1 (2018), 06HG05.

タイトルに関連する用語 (8件)： マイクロ ,  ナノインプリント ,  粉体成形 ,  セラミックス ,  ガラス ,  シート材料 ,  微細 ,  パターニング