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J-GLOBAL ID：201802266611297872   整理番号：18A1330544

ミリ・マイクロスケールにおけるインプリントされた多層材料の界面パターン変化

Interfacial pattern changes of imprinted multilayered material in milli- and microscales

著者 (3件)： YONEKURA Kazuhiro (Graduate School of Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  TOKUMARU Kazuki (Graduate School of Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  TSUMORI Fujio (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57  号： 6S1  ページ： 06HG05.1-06HG05.4  発行年： 2018年06月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *長さ ,  *リソグラフィー ,  多層膜 ,  *界面 ,  *型 ,  ポリイミド ,  移送成形 ,  ポリジメチルシロキサン
準シソーラス用語： *マイクロスケール ,  *インプリントリソグラフィー ,  *パターン ,  トランスファモールド ,  PDMS【重合体】

分類 (3件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  成形工程とその装置一般  (YH04030C)

引用文献 (30件)：

• S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett. 67, 3114 (1995).
• S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, Science 272, 85 (1996).
• S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4129 (1996).
• U. P. Schönholzer and L. J. Gauckler, Adv. Mater. 11, 630 (1999).
• U. P. Schönholzer, R. Hummel, and L. J. Gauckler, Adv. Mater. 12, 1261 (2000).

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロスケール ,  多層材料 ,  界面