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J-GLOBAL ID：202402288730050298   整理番号：24A0612686

格子整合によるY添加HfO₂強誘電体薄膜の配向制御

Orientation control of Y-doped HfO₂ thin films using lattice matching

著者 (5件)： 前川芳輝 (東京工大) ,  平井浩司 (東京工大) ,  岡本一輝 (東京工大) ,  清水荘雄 (物質・材料研究機構) ,  舟窪浩 (東京工大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 84th  ページ： ROMBUNNO.22a-A201-1  発行年： 2023年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： X線回折 ,...

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分類 (4件)： 蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N) ,  生体の顕微鏡観察法  (EA03050C) ,  分析機器  (CC02020S) ,  生体膜一般  (EF04010G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 格子整合 ,  HfO2 ,  強誘電体薄膜 ,  配向制御