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J-GLOBAL ID:202502213175492986   整理番号:25A0683829

(100)/(001)配向正方晶Pb(Zr,Ti)O3膜における結晶構造のその場観察

In-situ observation of crystal structure for (100)/(001)-oriented tetragonal Pb(Zr,Ti)O3 films
著者 (10件):
資料名:
巻: 71st  ページ: ROMBUNNO.23a-12H-5  発行年: 2024年03月05日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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【緒言】Pb(Zr, Ti)O3(PZT)薄膜は圧電MEMS応用で広く使用されている。[1]我々は組成相境界を用いない、正方晶の(100)/(001)膜のドメインスイッチングによる圧電性向上を提案してきた。[2-3]PZT膜の圧電・強誘電特...【本文一部表示】
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分類 (1件):
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無機化合物のルミネセンス 

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