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J-GLOBAL ID：202502223960349509   整理番号：25A2801091

レーザー誘起前方転写法で低温創製したマイクロ磁石

Low-temperature fabricated micromagnets utilizing laser induced forward transfer technique

著者 (10件)： 田原楽飛 (長崎大) ,  網屋拓輝 (長崎大) ,  轟木捷斗 (長崎大) ,  小野光翔 (長崎大) ,  山下昂洋 (長崎大) ,  柳井武志 (長崎大) ,  板倉賢 (九大) ,  小池邦博 (山形大) ,  進士忠彦 (東京科大) ,  中野正基 (長崎大)
資料名： 電気学会研究会資料(Web)  (Papers of Technical Meeting, IEE Japan (Web))
号： MAG-25-075-085.087-091 マグネティックス研究会  ページ： 3-4 (WEB ONLY)  発行年： 2025年08月04日 
JST資料番号： U2358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,低温プロセスを用いたNd-Fe-Bマイクロ磁石の作製について調べた。本方法では,パルスレーザ堆積(PLD)によって作製したNd-Fe-B膜を用いる,レーザ誘起前方転写(LIFT)法を利用している。光シャッタとガルバノスキャナを用い,ドット形状によるマイクロ磁石の作製に成功した。ドナーからLIFT作製によるマイクロ磁石へのNd₂Fe₁₄B相の効果的な転写をアニーリングプロセスなしで実現し,500kA/mを超える保磁力を持つ磁石をもたらした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *電気工学 ,  *電子技術 ,  レーザ誘起 ,  *微細加工 ,  レーザ ,  走査装置 ,  *磁石 ,  焼なまし
準シソーラス用語： *電子工学 ,  レーザ微細加工 ,  ガルバノスキャナ ,  *マイクロ磁石 ,  アニーリング

分類 (4件)： 電気工学一般  (NA01010F) ,  電子工学一般  (NC01000A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電磁石  (NA05080G)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザー誘起 ,  転写 ,  低温 ,  創製 ,  マイクロ ,  磁石