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J-GLOBAL ID：202502250889573033   整理番号：25A2923213

三次元アトムプローブとTEMデータの融合に向けた非剛体レジストレーション手法の開発

Non-rigid Registration of 3D Atom Probe and Transmission Electron Microscopy Data

著者 (7件)： 赤瀬善太郎 (奈良先端科学技術大学院大) ,  大竹義人 (奈良先端科学技術大学院大) ,  埋橋淳 (物質・材料研究機構) ,  岩満一功 (奈良先端科学技術大学院大) ,  山崎順 (大阪大) ,  大久保忠勝 (物質・材料研究機構) ,  冨谷茂隆 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM))
巻： 72nd  ページ： ROMBUNNO.17p-K505-12  発行年： 2025年 
JST資料番号： Y0054C  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *半導体素子 ,  *不純物分布 ,  分布 ,  *三次元アトムプローブ ,  トモグラフィー ,  マルチモーダル分析 ,  *画像補正 ,  非線形計画法 ,  パラメータ最適化 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  半導体薄膜 ,  窒化ガリウム ,  窒化アルミニウム ,  窒化アルミニウムガリウム
準シソーラス用語： AlGaN ,  AlN ,  GaN ,  STEM【顕微鏡】 ,  三次元分布 ,  電子線トモグラフィー ,  半導体デバイス ,  *非剛体レジストレーション

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 三次元アトムプローブ ,  TEM ,  融合 ,  非剛体レジストレーション ,  手法 ,  開発