研究者
J-GLOBAL ID：200901039341542318   更新日: 2022年09月13日

斧 髙一

オノ コウイチ | Ono Kouichi
所属機関・部署：
京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 工学研究科 航空宇宙工学専攻

京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 工学研究科 航空宇宙工学専攻 について


職名： 教授,教授
研究分野 (4件)： 航空宇宙工学 ,  薄膜、表面界面物性 ,  プラズマ科学 ,  プラズマ応用科学
研究キーワード (8件)： マイクロ・ナノ工学 ,  航空宇宙工学 ,  表面界面物性 ,  プラズマ理工学 ,  micro-and nano-engineering science ,  Aeronautical and Astronautical Engineering Science ,  Surface and Interface Science and Technology ,  Plasma Socience and Technology
競争的資金等の研究課題 (12件)：
  • 2002 - 2004 先進的プラズマプロセス技術に関する研究
  • 2002 - 2004 先進的プラズマプロセス技術に関する研究
  • 2002 - 2004 ナノサテライトのためのマイクロプラズマスラスターに関する研究
  • 2002 - 2004 Study on Aduanced Plasma Processing Technology
  • 2002 - 2004 Study on Aduanced Plasma Processing Technology
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論文 (142件)：
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MISC (26件)：
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特許 (12件)：
  • "Magnetically Enhanced Microwave Generation Apparatus"
  • "Ion Beam Generator"
  • "Ion Current Generator System for Thin Film Formation, Ion Implantation, Etching, and Sputtering"
  • "Dry Etching Apparatus"
  • "Ion Source"
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書籍 (39件)：
  • プラズマエッチングにおけるナノスケール表面形状揺らぎ (解説)
    プラズマ・核融合学会誌, Vol. 90, No. 7 (2014), pp. 398-404. 2014
  • プラズマナノ加工における表面ラフネスとリップル形成機構 (解説)
    表面科学, Vol. 34, No. 10 (2013), pp. 528-534. 2013
  • 巻頭言 「年頭所感:プラズマ科学とプラズマ応用」 (解説)
    プラズマ・核融合学会誌, Vol. 89, No. 1 (2013), pp. 1-2. 2013
  • High-k 膜のドライエッチング, 「ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術-成膜技術と膜・界面の物性科学-」
    (エヌ・ティー・エス社, 2012) 2012
  • 先端プラズマエッチングプロセスのモデリングと体系化 (解説)
    化学工業, Vol. 61, No. 6 (2010), pp. 457-465. 2010
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Works (2件)：
  • High-kケント絶縁膜およびメタルケント電極の加工技術開発
    2002 -
  • Research and Development of Plasma Etching Technology for High-k Gate drelectric thin Films and Metal Gate Electrodes
    2002 -
学歴 (4件)：
  • - 1978 京都大学 工学研究科 航空工学専攻
  • - 1978 京都大学
  • - 1973 京都大学 工学部 航空工学科
  • - 1973 京都大学
学位 (1件)：
  • 工学博士 (京都大学)
経歴 (8件)：
  • 1995 - 1998 三菱電機株式会社先端技術総合研究所主幹研究員
  • 1995 - 1998 三菱電機(株)
  • 1998 - - 京都大学大学院工学研究科教授
  • 1998 - - Kyoto University, Graduate School of Engineering, Professor
  • 1992 - 1995 三菱電機株式会社半導体基礎研究所主任研究員
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委員歴 (3件)：
  • 2000 - 2001 日本航空宇宙学会 関西支部幹事
  • 1996 - 1998 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会副幹事長,幹事長,関西支部幹事
  • 1993 - 1996 電気学会 調査専門委員会幹事
受賞 (2件)：
  • 1997 - 第56回注目発明科学技術庁長官表彰
  • 1995 - 国際純粋応用化学連合(IUPAC : International Union of Pure and Applied Chemistry), 第12回プラズマ化学国際会議(ISPC-12 : 12th International Sympsium on Plasma Chemistry) プラズマ化学賞(Plasma Chemistry Prize)
所属学会 (8件)：
プラズマ・核融合学会 ,  米国航空宇宙学会(AIAA:American Institute for Aeronautics and Astronautics) ,  日本航空宇宙学会 ,  米国真空学会(AVS : American Vacuum Society) ,  米国物理学会(APS : American Physical Society) ,  電気学会 ,  日本物理学会 ,  応用物理学会
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