- 2020 - 2023 大気圧プラズマを応用した多層塗装における対象界面で剥離させ易くする手法の提案
- 2020 - 2023 多品種少量パワー半導体製造向け多価イオンマイクロビーム装置の開発
- 2017 - 2019 チタン微細金型製造における加工条件最適化と高速加工に向けた多価イオン応用
- 2016 - 2017 卓上型多価イオンビーム加工装置の実現に向けた直交電磁界型質量分離器の開発
- 2012 - 2015 イオン源プラズマを用いた原子内包フラーレンの生成・分離・表面修飾技術の開発
- 2014 - 2015 ホットウォール金属イオン照射装置による原子内包フラーレンの量産技術
- 2012 - 2013 超小型ECRイオン源の設計指針構築に向けた多価イオンの計測・制御に関する研究
- 2011 - 2012 ホローカソード型高密度プラズマ源の開発および微細パターン作製への応用
- 2011 - 2012 白金族削減に向けたナノ粒子製造技術及びナノ触媒を用いた接触燃焼式ガスセンサの開発
- 2010 - 2011 圧電材料用卓上型プラズマエッチング装置の開発
- 2008 - 2010 ECRイオン源を用いた多価イオン注入による金属内包 ナノカーボン生成技術の研究開発
- 2003 - 2005 マイクロ波モード制御による高効率ECRプラズマ生成とそのプロセス応用に関する研究開発
- 2003 - 2005 複合プラズマ装置によるμリアクターシステム製造技術の研究開発
- 2002 - 2003 光集積デバイス用反応性イオンエッチング装置の研究開発
全件表示