特許
J-GLOBAL ID:201603019977720641

超音波探触子及び超音波探傷システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人開知国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-022326
公開番号(公開出願番号):特開2016-145732
出願日: 2015年02月06日
公開日(公表日): 2016年08月12日
要約:
【課題】微細な構造物を容易に検査することができる超音波探触子及び超音波探傷システムを提供する。【解決手段】超音波探触子100は、ロッド基板14と、ロッド基板14上に形成される下部電極13(第1の電極)と、下部電極13上に形成される圧電材料11(圧電体)と、圧電材料11上に形成される上部電極12(第2の電極)とを備える。圧電材料11(圧電体)は、非金属元素が異なる2種類以上の圧電材料11a〜11cが下部電極13(第1の電極)から上部電極12(第2の電極)の方向へ積層した構造を有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、 前記基板上に形成される第1の電極と、 前記第1の電極上に形成される圧電体と、 前記圧電体上に形成される第2の電極と、を備え、 前記圧電体は、 非金属元素が異なる2種類以上の圧電材料が前記第1の電極から前記第2の電極の方向へ積層した構造を有する ことを特徴とする超音波探触子。
IPC (1件):
G01N 29/24
FI (1件):
G01N29/24
Fターム (5件):
2G047AA05 ,  2G047BC07 ,  2G047CA01 ,  2G047EA05 ,  2G047GB32
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開平1-114085
  • 超音波トランスデューサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-014710   出願人:学校法人同志社, 独立行政法人産業技術総合研究所
  • 特開平3-252553
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