石英ガラスとほうけい酸ガラスの熱インプリント用のガラス状カーボンモールドの集束イオンビームミリング加工に関する研究

YOUN Sung Won; TAKAHASHI Masaharu; GOTO Hiroshi; MAEDA Ryutaro

文献

J-GLOBAL ID：200902236071230479 整理番号：07A0033091

石英ガラスとほうけい酸ガラスの熱インプリント用のガラス状カーボンモールドの集束イオンビームミリング加工に関する研究

A study on focused ion beam milling of glassy carbon molds for the thermal imprinting of quartz and borosilicate glasses

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巻： 16 号： 12 ページ： 2576-2584 発行年： 2006年12月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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