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J-GLOBAL ID：200902159880251717   整理番号：98A0861043

材料-波動ナノ技術 de Broglie波を用いたナノ作製

Material-wave nanotechnology: Nanofabrication using a de Broglie wave.
著者 (2件)：
MATSUI S

MATSUI S について

(NEC Corp., Tsukuba, JPN)

NEC Corp., Tsukuba, JPN について

, 
FUJITA J

FUJITA J について

(NEC Corp., Tsukuba, JPN)

NEC Corp., Tsukuba, JPN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 16  号： 4  ページ： 2439-2443  発行年： 1998年07月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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de Broglie波を用いたナノ作製法を開発した。温度場エ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*ホログラフィー応用

ホログラフィー応用 について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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電子ビームホログラフィー

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分類 (2件)：
分類
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粒子光学一般 
(BD02010J)

粒子光学一般 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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波動

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ナノ技術

ナノ技術 について

, 
作製

作製 について


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