文献
J-GLOBAL ID：200902001686572798 整理番号：92A0079065
微細加工最前線
The Front of Advanced Fabrication.
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{{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=92A0079065©=1") }}
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著者 (1件)：
河合義夫
河合義夫 について
名寄せID(JGPN) 200901100394957057 ですべてを検索
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(
NTT LSI研
)
NTT LSI研 について
名寄せID(JGON) 201551000096622569 ですべてを検索
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資料名：
精密工学会誌 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
精密工学会誌 について
JST資料番号 F0268A ですべてを検索
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巻：
57
号：
12
ページ：
2129-2132
発行年：
1991年12月
JST資料番号：
F0268A
ISSN：
0912-0289
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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光露光技術の現状と将来を解説。微細化のためには焦点深度の犠牲...
シソーラス用語：
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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般
(NC03030V)
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引用文献 (16件)：
1) S. Mori et al. : A 45 ns 64 Mb DRAM with a Matched. Line Test Architecture, ISSCC 91, (1991) 110.
2) M. Taguchi et al. : A 40 ns 64 Mb DRAM with a Current-Sensing Data-Bus Amplifier, ISSCC 91, (1991) 112.
3) Y. Oowaki et al. : A 33 ns 64 Mb DRAM, ISSCC 91, (1991) 114.
4) 難波 進編著 : マイクロプロセスハンドブック, 工業調査会, (1990) 254,262.
5) T. Hayashida et al. : A Nobel Method for Improving the Defocus Tolerance in Step and Repeat Photolithography, Proc. SPIE, 772, (1987).
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タイトルに関連する用語 (1件)：
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