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J-GLOBAL ID：200902011690423450   整理番号：91A0132242

YAGレーザ照射による気相合成ダイヤモンド薄板の加工

Processing of CVD diamond films by YAG laser.

著者 (2件)： 手塚信一 (東京工大 大学院) ,  吉川昌範 (東京工大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 56  号： 12  ページ： 2255-2260  発行年： 1990年12月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： YAGレーザ照射を使ったダイヤモンド薄板の切断加工および平坦...

シソーラス用語： 膜厚 ,...
準シソーラス用語： ダイヤモンド薄膜

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分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (8件)：

• 1) 大竹尚登ほか : ダイヤモンド高速合成用アーク放電プラズマジェット装置の試作, 精密工学会誌, 55, 12 (1989) 2163.
• 2) 岡幸嗣 : ダイヤモンドコンパクトの加工, New Diamond, 2, 3 (1986) 2163.
• 3) 揚政峰ほか : 熱化学反応を利用した膜状ダイヤモンド研磨機の試作性能, 精密工学会誌、, 55, 1 (1989) 77.
• 4) 手塚信一ほか : YAGレーザ照射によるダイヤモンド粒の切断精密工学会誌, 55, 12 (1989) 1863.
• 5) T.Wvance : Study of the Transformation of Diamond to Graphite, Proc. Roy. Soc. Lond., A277, (1964) 260.

タイトルに関連する用語 (4件)： YAGレーザ ,  気相合成 ,  ダイヤモンド ,  薄板