サブミクロン二次イオン質量分析による微細構造の三次元分析

SATOH H; OWARI M; NIHEI Y

文献

J-GLOBAL ID：200902064324834109 整理番号：91A0950208

サブミクロン二次イオン質量分析による微細構造の三次元分析

Three-dimensional analysis of a microstructure by submicron secondary ion mass spectrometry.

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巻： 9 号： 5 ページ： 2638-2641 発行年： 1991年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Ga FIBを用いた標記SIMSを作製した。ビームが先鋭であ...

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質量分析 , その他の構造決定法

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