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J-GLOBAL ID：200902071298626817   整理番号：88A0395298

自重補償機構を備えた縦形の超精密XYステージ 摩擦の影響を考慮した位置決め

A precise vertical X-Y stage with weight compensating mechanism. Friction effects on positioning characteristics.

著者 (4件)： 内田憲男 (東芝) ,  高橋良彦 (東芝) ,  山田昇 (東芝) ,  広川利夫 (東芝)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 54  号： 5  ページ： 884-889  発行年： 1988年05月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ステージの背面に設けたカウンタウエイトによって自重を補償する...

シソーラス用語： X線源 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• 1) 鳳 紘一郎 : シンクロトロン放射光リソグラフィ, 応用物理, 53, 1(1984)17.
• 2) D. S. Alles et al. : Step & Repeat Camera, Bell Sys. Tech. J., 49, 9, (1970) 2145.
• 3) 森山茂夫ほか : 圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台, 精密機械, 50, 4(1984)718.
• 4) 木下博雄ほか : 空気浮上式高速XYステージの試作, 精密機械, 52, 10 (1986) 1713.
• 5) 吉田庄一郎ほか : 精密位置決めのためのセンサ計測技術, 精密工学会第122回講習会資料(1985)11.

タイトルに関連する用語 (6件)： 自重 ,  補償 ,  縦形 ,  超精密 ,  XYステージ ,  摩擦