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J-GLOBAL ID：200902078869365573   整理番号：91A0485923

超LSIの世界と予想される限界

Si ULSI. Will it reach its limits?

著者 (1件)： 名取研二 (東芝 超LSI研)
資料名： 日本物理学会誌
巻： 46  号： 5  ページ： 352-359  発行年： 1991年05月 
JST資料番号： F0221A  ISSN： 0029-0181  CODEN： NBGSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 生産技術の分野で日本がその強みを発揮していると言われる,LS...

シソーラス用語： 超LSI ,...

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分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• 1) B. Santo: IEEE Spectrum 25 (1988) 108.
• 2) R.H. Dennard, et al.: IEEE J. Solid-State Circuits SC-9 (1974) 256.
• 3) G.A. Sai-Halasz, et al.: IEEE Electron Device Lett. EDL-8 (1987) 463.
• G.A. Sai-Halasz, et al.: IEEE Electron Device Lett. EDL-9 (1988) 464.
• 4) M.P. Lepselter, et al.: IEEE Circuits & Devices 1 (1985) 53.

タイトルに関連する用語 (4件)： LSI ,  世界 ,  予想 ,  限界