文献
J-GLOBAL ID：200902098177011632   整理番号：92A0168790

進んだ電子ビームリソグラフィー

Advanced e-beam lithography.
著者 (6件)：
TAKIGAWA T

TAKIGAWA T について

(Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN)

Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN について

, 
WADA H

WADA H について

(Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN)

Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN について

, 
OGAWA Y

OGAWA Y について

(Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN)

Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN について

, 
YOSHIKAWA R

YOSHIKAWA R について

(Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN)

Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN について

, 
MORI I

MORI I について

(Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN)

Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN について

, 
ABE T

ABE T について

(Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN)

Toshiba Corp., Kawasaki-City, JPN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 9  号： 6  ページ： 2981-2985  発行年： 1991年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
電子ビームリソグラフィーの加速電圧依存性を調べた。低い加速電...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
リソグラフィー

リソグラフィー について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
直接描画

直接描画 について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=92A0168790&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0974A") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  電子ビーム・イオンビームの応用 
(BD02070X)

電子ビーム・イオンビームの応用 について

タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
電子ビームリソグラフィー

電子ビームリソグラフィー について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM