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J-GLOBAL ID:200902098496201126   整理番号:91A0332609

ACリニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め (第1報) システムの構成と粗・微動制御

Nanometer positioning using AC linear motor and rolling guide. (1st report). System set-up and coarse/fine positioning.
著者 (2件):
資料名:
巻: 57  号:ページ: 556-561  発行年: 1991年03月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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表題について,粗動用の計測センサには光学式リニアスケールを用...
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分類 (1件):
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工作機械要素,ジグ,チャック 
引用文献 (7件):
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