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J-GLOBAL ID：200902098496201126   整理番号：91A0332609

ACリニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め (第1報) システムの構成と粗・微動制御

Nanometer positioning using AC linear motor and rolling guide. (1st report). System set-up and coarse/fine positioning.

著者 (2件)： 二見茂 (新技術事業団) ,  古谷彰浩 (新技術事業団)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 57  号： 3  ページ： 556-561  発行年： 1991年03月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 表題について,粗動用の計測センサには光学式リニアスケールを用...

シソーラス用語： 位置決め ,...

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分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (7件)：

• 1) J. Nishizawa, K. Takahashi, W. Ichinose & S. Hirano Precise Position Control by Electromagnet, Bull. of JSME, 18,122, (1975) 819.
• 2) H. K. McCue : The Motion Control System for Large Optics Diamond Turning Machine, Proc. SPIE, 433, (1983) 68.
• 3) 森山茂夫, 原田達男, 高梨明紘 : 圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台, 精密機械, 50, 4(1984)718.
• 4) 辻 道緒, 杉山定夫, 日戸興史 : X線露光装置用空気浮上式XYステージ, Omron Technics, 76(1985)285.
• 5) 新宅勝郎 : 精密長変位制御に関する実験的研究, システムと制御, 29, 9(1985)609.

タイトルに関連する用語 (5件)： Ac ,  リニアモータ ,  転がり案内 ,  ナノメータ ,  微動