ナノメータレベル回転精度を目指して  形状誤差と運動誤差の分離による回転精度のナノ計測

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J-GLOBAL ID：200902100567561905 整理番号：01A0730648

ナノメータレベル回転精度を目指して形状誤差と運動誤差の分離による回転精度のナノ計測

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資料名：
巻： 67 号： 7 ページ： 1067-1071 発行年： 2001年07月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

超精密機器においては高い回転精度を持つスピンドルが使用されて...

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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器

引用文献 (33件)：

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