III族窒化物合成用のアンモニアクラスタビーム

文献

J-GLOBAL ID：200902102167578747 整理番号：01A0165323

Ammonia Cluster Beam for Group-III Nitride Synthesis.

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資料名：
巻： 180 号： 1 ページ： 251-256 発行年： 2000年07月16日
JST資料番号： D0774A ISSN： 0031-8965 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

III族窒化物薄膜合成を目的に,アンモニアを用いた小型のクラ...

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半導体薄膜 , 電子源,イオン源

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