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J-GLOBAL ID：200902102661438281   整理番号：99A0313349

レーザ・トラッピングとMirau干渉計に基づくナノ座標測定器用新探触子技術に関する基礎的研究

Fundamental study on the new probe technique for the nano-CMM based on the laser trapping and Mirau interferometer.

著者 (4件)： TAKAYA Y (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SHIMIZU H (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKAHASHI S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MIYOSHI T (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Measurement  (Measurement)
巻： 25  号： 1  ページ： 9-18  発行年： 1999年01月 
JST資料番号： W0315B  ISSN： 0263-2241  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 約1立方センチの測定範囲で50ナノ・メートルの精度水準を満足...

シソーラス用語： *干渉計 ,...

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザ ,  トラッピング ,  干渉計 ,  座標測定器 ,  探触子 ,  基礎的研究