高アスペクト比のマクロパーヅを作製するための高分子のシンクロトロン放射マイクロマシニング

文献

J-GLOBAL ID：200902107392524410 整理番号：96A0286509

Synchrotron Radiation Micromachining of Polymers to Produce High-Aspect-Ratio Microparts.

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巻： 35 号： 2A ページ： L186-L188 発行年： 1996年02月01日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

高分子のシンクロトロン放射光による直接マイクロマシニング法を...

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固体デバイス製造技術一般 , 試料技術 , 特殊加工

引用文献 (15件)：

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