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J-GLOBAL ID：200902108404862410   整理番号：01A1036254

透明非晶質有機薄膜のフェムト秒多段レーザエッチング

Femtosecond Multistep Laser Etching of Transparent Amorphous Organic Film.

著者 (6件)： HOSOKAWA Y (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YASHIRO M (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  ASAHI T (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MASUHARA H (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KADOTA T (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SHIROTA Y (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 40  号： 10B  ページ： L1116-L1118  発行年： 2001年10月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明有機薄膜の単発フェムト秒レーザアブレーションを実現した。...

シソーラス用語： 透明材料 ,...
準シソーラス用語： 有機非晶質薄膜 ,...

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分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

物質索引 (1件)： トリス[4-(3-メチルフェニルフェニルアミノ)フェニル]アミン

引用文献 (11件)：

• 1) R. Srinivasan and B. Braren: Chem. Rev. 89 (1989) 1303.
• 2) D. D. Dlott, S. Hambir and J. Franken: J. Phys. Chem. B 102 (1998) 2121.
• 3) L. V. Zhigilei, P. B. S. Kodali and B. J. Garrison: J. Phys. Chem. B 102 (1998) 2845.
• 4) Y. Hosokawa, M. Yashiro, T. Asahi, H. Fukumura and H. Masuhara: Appl. Surf. Sci. 154 (2000) 192.
• 5) Y. Hosokawa, M. Yashiro, T. Asahi and H. Masuhara: Proc. SPIE 4274 (2000) 78.

タイトルに関連する用語 (5件)： 非晶質 ,  有機薄膜 ,  フェムト秒 ,  多段 ,  レーザエッチング